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真空箱式氦檢漏系統操作規程
一、預啟動檢測:
1、檢測提供給系統的壓縮空氣(壓力大于0.6MPa的潔凈壓縮空氣)。
2、檢測吹氮裝置的氮氣供應壓力在0.2MPa之間。
3、確??傠娫创蜷_。
4、確保所有緊急停止按鈕處于釋放狀態。
5、檢查輸入氦氣瓶的壓力為0.1MPa。
6、檢查高壓氦氣罐出口手動閥處于打開狀態。
7、檢查排氣管路的出口通暢。
8、檢查PLC通信接口沒有與其它任何通信電纜連接。
9、檢查PLC主機的運行狀態是否存在運行狀態